Kodināšanas iekārtu gāzes sistēma

Kodināšanas posmā ir jāizmanto dažādas kodināšanas gāzes, kuras reakcijas procesā sauc arī par procesa vidi. Kodināšanas iekārtas gāzes sistēma ir atbildīga par procesa vides transportēšanu no gāzes avota uz reakcijas kameras iekšpusi, kas galvenokārt sastāv no gāzes kastes (Gasbox), homogenizējošās plāksnes (Gaspanel), plūsmas mērītāja. (MFC) un cauruļvads.

Gāzes kastes funkcija ir regulēt gāzveida procesa vides spiedienu no gāzes avota (īpaša gāzes balona vai vafeļu ražotnes gāzes vada) caur dažādiem vadības vārstiem un pēc tam ievadīt to gāzes ceļa cauruļvadā. kodināšanas iekārta. Tā kā lielākā daļa integrālo shēmu ražošanā izmantoto gāzu ir bīstamas, drošības nolūkos gāzes ķēdes kārbas korpuss parasti ir pārklāts ar pretkorozijas pārklājumu un tiek izveidots ārējais novērošanas logs, kā arī iekšpuse. negatīva spiediena stāvoklī. Turklāt gāzes kaste ir aprīkota ar dažādām uzraudzības sistēmām, kas nekavējoties pārtrauc gāzes padevi un signalizē, kad tiek konstatēta gāzes noplūde. Gaspanel ir viena no gāzes sistēmas galvenajām sastāvdaļām, un tā ir arī pusvadītāju metāla daļa, kuru ir grūti apstrādāt. Homogenizējošais disks parasti sastāv no četriem metāla disku slāņiem, no kuriem katrā ir daudz mazu caurumu un sarežģīti un mazi gaisa ceļi. Kad kodināšanas gāze ir noregulēta ar gāzes ceļa kārbu, tā nonāk cauruļvadā un pēc tam iet caur homogenizācijas paplāti un visbeidzot tiek transportēta uz reakcijas kameru ar stabilu un vienmērīgu ātrumu. Homogenizējošajam diskam ir jābūt augstas temperatūras izturības, zema daļiņu piesārņojuma un izturības pret koroziju īpašībām, un ir jāizmanto īpašas metodes, lai metinātu starp daudzslāņu metāla diskiem, lai novērstu iekšējo noplūdi. Tā kā homogenizējošais disks ir saistīts ar kodināšanas galveno gaisa ieplūdes posmu, daži iekārtu uzņēmumi izvēlas sadarboties ar precīzās metālapstrādes uzņēmumiem, lai izstrādātu un ražotu homogenizējošos diskus; Turklāt Fujikin vārsti Japānā ir arī nozīmīgi vienotu disku ražotāji.

Kodināšanas iekārta izmanto masas plūsmas mērītāju (MFC), lai uzraudzītu un kontrolētu ātrumu, ar kādu kodināšanas gāzes nonāk reakcijas kamerā. Tā kā gaisa ieplūdes ātrums ir saistīts ar kodināšanas reakcijas stabilitāti, kodināšanas iekārtai ir augstas prasības masas plūsmas mērītāja plūsmas diapazonam, vadības precizitātei un plūsmas stabilitātes reakcijas laikam. Plūsmas mērītājus var iedalīt analogās ķēdes tipa, digitālās ķēdes tipa un spiediena izmaiņu kompensācijas veida. Spiediena maiņas kompensācijas plūsmas mērītājs var automātiski kompensēt gāzes avota spiediena svārstības, lai nodrošinātu stabilu gāzes izvades plūsmu reakcijas kamerā. Galvenais masas plūsmas mērītāju ražotājs ir Horiba Japānā.